在精密零件加工領域中所謂內應力，就是當外界載荷去掉后，仍殘留在工件內部的應力。內應力是工件在加工過程中其內部宏觀或微觀組織因發生了不均勻的體積變化而生產的。
具有內應力的零件處于一種不穩定的相對平衡狀態，可以保持形狀精度的暫時穩定。
但它的內部組織有強烈的傾向要恢復到一種穩定的沒有內應力的狀態，一旦外界條件產生變化，如環境溫度的改變、繼續進行切削加工、受到撞擊等，內應力的暫時平衡就會被打破而進行重新分布，零件將產生相應的變形，從而破壞原有的精度。
精密零件加工中為減小或消除內應力對零件加工精度的影響，在設計零件結構時，應盡量簡化結構，考慮壁厚均勻，以減少在鑄、鍛毛坯制造中產生的內應力，切削加工時，應將粗、精加工分開在不同的工序進行，是粗加工后有一定的間隔時間讓內應力重新分布，以減少對精加工的影響。
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